肉フェスの後訪れたのが、品川のニコンミュージアム。2回目の訪問です。

今回は、「世界最高解像度レンズの系譜　ウルトラマイクロニッコール」と題した、写真用ではない、産業用ニッコールレンズの企画展が18年6月30日まで催されているため、これを見てきました。

ウルトラマイクロニッコールです。ウルトラなんですよ！

Nikonは、等倍までのレンズは他社のようにマクロレンズではなく、"マイクロ"レンズと称しています。

そのマイクロニッコールレンズの超高解像度産業用レンズが、このウルトラマイクロニッコールレンズです。

我が国の半導体技術に貢献したウルトラマイクロニッコールレンズをここまで集めた展示は、世界に類を見ない展示となっています。

一般にはNikonはカメラメーカーというイメージしかありませんが、Nikonの前身、日本光学時代から、Leicaなどと並ぶ世界屈指の光学メーカーとして、産業や学術、防衛分野にも貢献してきました。

●半導体露光装置「NSR-S306C」用投影レンズ

入ってすぐに展示されている、半導体露光装置「NSR-S306C」用投影レンズ。

これは半導体を製造する上で、シリコンウェハに回路パターンを焼き付けるためのレンズです。

仕組みは、NikonのHPに書かれています。ここにも。

レンズの解像度が高いほど（もちろんウェハを動かす精度も重要ですが）、細かいパターンを描くことが可能です。

こういった装置が、日本の、そして世界の半導体製造に貢献しています。

近年では海外メーカーが躍進し、Nikonの半導体露光装置はシェアを落としてしまいました。この辺の事情は、こちらの記事がわかりやすいと思います。残念な話ですが、何でも自社でやってしまうという日本の技術風潮が、現代の事情に合わなくなっていると言えるかもしれません。

それはともかく、貴重なウルトラマイクロニッコールレンズは、産業用という用途から、装置に組み込まれて使用されるため、装置の減価償却完了、廃棄となるため、残っているものはなかなか少ないようです。

今回の展示は、社内の試作品も含めた展示となり、ここでしか見ることが出来ない貴重なものとなっていました。

詳しい解説は、知識がないので出来ません。詳しくは、この分野では日本、いや世界的にも有名なRED BOOK NIKKORの記事をご覧ください（丸投げ）。